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Sensor de presión resonante de silicio altamente integrado

Sensor de presión resonante de silicio altamente integrado

1. El rango de temperatura más amplio es de -55 grados a 85 grados.
2. Salida de señal de frecuencia
3. El rango de temperatura más amplio puede alcanzar-55 grados ~ 85 grados
4. Hay múltiples interfaces disponibles para su selección.
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Detalles

Descripción de productos

 

El Secretario General-P5Sensor de presión resonante de silicio altamente integradoadopta una estructura resonante micro-mecanizada MEMS como núcleo de detección e integra un circuito integrado-específico de la aplicación (ASIC) para realizar la función de control de bucle cerrado-del circuito. Cuando se aplica presión externa al diafragma de silicio, se genera una tensión mecánica que cambia ligeramente la rigidez del haz resonante, lo que se traduce directamente en cambios mensurables en la frecuencia de resonancia. A través del circuito de detección de frecuencia de bucle cerrado-, la variación de frecuencia se convierte con precisión en salida de presión.

En comparación con los sensores de presión analógicos/resistivos tradicionales, la detección basada en frecuencia-del SG{0}}P5 ofrece ventajas significativas: la salida de frecuencia digital es inherentemente resistente a la interferencia electromagnética y la atenuación de la señal, lo que garantiza una excelente estabilidad y repetibilidad a largo plazo-. Fabricado mediante grabado profundo de iones reactivos (DRIE) para lograr una precisión estructural sub-micrónica, el haz resonante del sensor y el diseño de estructura dual-diferencial reducen eficazmente la deriva de temperatura; Combinado con algoritmos de calibración digital, funciona de manera confiable en aplicaciones de larga-duración y alta-estabilidad. Además, su respuesta de gran ancho de banda permite capturar fluctuaciones de presión a alta velocidad, lo que lo hace adecuado para mediciones estáticas y escenarios de monitoreo dinámicos y en tiempo real.

La solución de producto integrada MEMS + ASIC no solo reduce el tamaño del producto sino que también ayuda a controlar los costos, lo que brinda al SG-P5 ventajas de forma obvias en comparación con otros productos similares. Con su excepcional precisión y robustez, es una opción ideal para una amplia gama de aplicaciones que incluyen la industria aeroespacial, la extracción de petróleo y gas, la automatización industrial, el control de procesos químicos, la instrumentación médica, los misiles de bajo-coste, los drones enjambres y eVTOL.

 

Características

 

● La detección de frecuencia resonante permite una alta precisión (precisión integral de temperatura completa y rango completo de hasta ±0,01% FS) y una excelente estabilidad.

● Salida de señal de frecuencia (tipo de salida digital) con fuerte resistencia EMI, adecuada para funcionamiento en entornos hostiles

● El diseño de haz resonante diferencial garantiza una baja deriva de temperatura y confiabilidad a largo plazo-, con el rango de temperatura de funcionamiento más amplio de hasta -55 grados ~85 grados.

● Respuesta dinámica de alta-frecuencia, capaz de monitorear procesos-en tiempo real

● Estructura miniaturizada con alta integrabilidad, ideal para OEM y dispositivos integrados.

● Múltiples interfaces eléctricas e interfaces de presión opcionales, adaptables a diversos requisitos de aplicación

Highly Integrated Silicon Resonant Pressure Sensor

 

Presupuesto

 

Rango de presión

140kPa

Elija arbitrariamente entre 0 y el rango de presión opcional con rango de calibración, presión mínima de calibración 5 kPa

280kPa

tipo de presión

presión absoluta

Medio de medición

Gas seco, no-corrosivo

Presión de rotura

140 kPa: 3,5×FS

Presión de sobrecarga

140 kPa: 3,0×FS

280 kPa: 2,0×FS

280 kPa: 1,5×FS

350 kPa: 1,2×FS

Tensión de alimentación

15 V ± 0,5 V CC

Consumo actual

Menor o igual a 30mA

Precisión combinada opcional

±0.01%F.S.

Estabilidad-a largo plazo

Etapa elevada ±0.01%FS

±0.02%F.S.

Grado estándar ±0.02%FS

Tiempo de respuesta

La presión cambia de 10% FS a 90% FS <25 ms

Efectos de aceleración

<5 Pa/g

Hora de inicio

250 ms alcanzan el índice de precisión después del suministro de energía

Rango de salida

Frecuencia de presión: 30 kHz ~ 50 kHz

Voltaje de temperatura: 0 mV ~ 1500 mV

Método de salida

Frecuencia de presión + voltaje de temperatura

Rango de temperatura de compensación

-40~80 grados

-55~85 grados

Interfaz de presión

ø2mm×7mm

 

Dimensión general

 

Highly Integrated Silicon Resonant Pressure Sensor

Aplicaciones

 

Aeroespacial y Aviación: control de turbinas, regulación de presión en cabina, simulación/pruebas.

Petróleo y gas/petroquímica: presión en boca de pozo, fractura de ductos, monitoreo de campo en tiempo real-.

Procesamiento químico, farmacéutico e industrial: control de reactores, monitoreo de fugas, medición de sistemas en línea.

Automatización y control industrial: monitoreo de presión de gas/líquido, control de flujo y presión diferencial.

Instrumentos médicos y de ciencias biológicas: medición de presión de micro-flujo de precisión, monitoreo del sistema de gas.

Ingeniería marina y de aguas profundas-: detección de presión sumergible (embalaje personalizado de alta-presión disponible).

 

¿Por qué elegir nuestro sensor de presión de alto-rendimiento?

  • Estricto control de calidad desde el procesamiento del silicio en bruto hasta el micromecanizado DRIE y la calibración final.
  • Fuerte capacidad de personalización OEM - rangos de presión, empaque, salida de señal, interfaz seleccionable.
  • Plazo de entrega rápido y entrega escalable desde muestras de prototipos hasta producción a escala completa-.
  • Soporte integral de ingeniería, asistencia de integración y servicio técnico de por vida.
  • Reconocimiento de la industria e investigación y desarrollo continuos, lo que garantiza la confiabilidad del producto y la evolución tecnológica a largo plazo.

 

Preguntas frecuentes

P1. ¿Qué rangos de presión están disponibles para SG-P5?

Los rangos son personalizables. Proporcione sus requisitos de integración, rango, temperatura y medio objetivo para recomendaciones de configuración.

P2. ¿Qué tan estable es el rendimiento de la deriva-a largo plazo?

La estructura de silicio resonante combinada con la medición de frecuencia garantiza una deriva ultra-baja y una alta repetibilidad en funcionamiento continuo.

P3. ¿Qué formato de salida proporciona el sensor?

Salida de frecuencia digital. La interfaz/conector de señal se puede personalizar para la integración OEM.

P4. ¿Puede el sensor funcionar en entornos con alta-temperatura o ricos en EMI-?

Sí, - el mecanismo basado en frecuencia digital-ofrece una fuerte inmunidad electromagnética. Los entornos de alta-temperatura o corrosivos pueden requerir un embalaje protector personalizado.

P5. ¿Admite pedidos OEM o de producción en masa?

Sí. Suministramos muestras de ingeniería, pruebas y producción en masa con certificación, informes de control de calidad y datos de calibración.

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